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| 气体静压导轨刚度讨论与误差源分析 | |
| 作者姓名： | 张雯 李东升 林杰俊 禹静 |
| 摘 要： | 针对目前国内外超精密工程与技术中微小误差源的识别及其对结构设计的影响问题,重点分析了气体静压导轨这一核心部件.对4种常用的导轨型式,即正方形、三角形、梯形及,一形导轨的自身刚度、气膜刚度与工作时气流随机振动引起的微观误差逐一进行分析,提出在卧式使用且刚度不大的情况下,为保证加工及测量精度,应尽量采用n形导轨.研究可为相... |
| 关 键 词： | 气体静压导轨型式 微小振源 静压系统 气膜刚度 刚度分析 |
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