基于355nm紫外激光切割柔性覆铜板的工艺参数优化 |
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引用本文: | 刘文鑫,陈志城,李岩,陈广玉,黄柳青,罗学涛.基于355nm紫外激光切割柔性覆铜板的工艺参数优化[J].中国激光,2023(8):29-38. |
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作者姓名: | 刘文鑫 陈志城 李岩 陈广玉 黄柳青 罗学涛 |
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作者单位: | 1. 厦门大学材料学院,厦门市电子陶瓷材料与元器件重点实验室;2. 厦门爱谱生电子科技有限公司 |
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基金项目: | 厦门市重大科技项目(3502Z20201002); |
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摘 要: | 针对紫外激光切割柔性覆铜板时出现焦黑碳化、过熔及过多能量损耗等问题,采用355 nm紫外纳秒激光切割机对49μm厚聚酰亚胺双面无胶柔性覆铜板进行激光切割实验,通过预切割遍历参数以验证切割覆铜板的最小能量——临界切割能量。在此基础上,研究了切割参数对柔性覆铜板表面形貌、截面形貌、碳化程度、刻缝宽度以及表面和截面成分变化的影响。实验结果表明:激光切割速度、切割功率和重复切割次数对柔性覆铜板的切割质量具有重要影响,提升切割速度、保持适中的切割功率、降低重复切割次数能够获得切口光滑且无积碳的高质量、低功耗切割效果。由以上结果可得出本实验条件下的最佳工艺参数:切割速度为2000 mm/s,切割功率为12 W,重复切割次数为70次。本实验研究结果为实现柔性覆铜板的高质量、低能耗激光切割提供了工艺依据,而且该切割工艺可适用于柔性电路板、聚酰亚胺覆盖膜及补强板等通过激光切割成形的材料。
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关 键 词: | 激光技术 紫外激光切割 柔性覆铜板(FCCL) 临界切割能量 工艺参数 |
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