基于表面曲线光栅的高功率窄线宽半导体激光器 |
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作者姓名: | 唐慧 李瑞冬 邹永刚 田锟 郭誉钧 范杰 |
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作者单位: | 长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室 |
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基金项目: | 吉林省科技发展计划项目(20190302052GX,20210201030GX); |
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摘 要: | 随着智能感知技术的快速发展,高功率、窄线宽的半导体激光光源成为研究热点。通过在边发射半导体激光器件表面引入高阶曲线光栅,设计了一种独特的非稳谐振腔结构,可实现高功率和窄线宽。采用紫外光刻和电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术,制备了周期为6.09μm、占空比为0.66、刻蚀深度为500 nm的曲线光栅。在室温条件下,测得腔长为2 mm的器件的阈值电流为220 mA,连续输出功率为1.48 W,斜率效率为0.63 W/A。比较了法布里-珀罗激光器、直线光栅分布式反馈(DFB)激光器和曲线光栅DFB激光器的光谱,结果表明,曲线光栅对半导体激光器的模式选择起到了关键作用,有利于实现高功率DFB激光器的窄线宽单模输出。该器件具有制作工艺相对简单、性能优异、可靠性高等特点,具有广阔的应用前景。
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关 键 词: | 激光器 半导体激光器 曲线光栅 高阶光栅 高功率 窄线宽 |
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