| 不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究 |
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| 引用本文： | 苏青峰 夏义本 王林军 刘健敏 史伟民. 不同取向金刚石薄膜的红外椭圆偏振光谱特性研究[J]. 红外与毫米波学报, 2006, 25(2): 86-89 |
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| 作者姓名： | 苏青峰 夏义本 王林军 刘健敏 史伟民 |
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| 作者单位： | 上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072;上海大学,材料科学与工程学院电子信息材料系,上海,200072 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;上海市应用材料研究与发展基金;曲阜师范大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 采用红外椭圆偏振光谱仪对HFCVD方法所制备的不同取向金刚石薄膜的光学参数进行了测量.结果表明(001)取向金刚石薄膜具有较佳的光学质量,在红外波段基本是透明的.在2.5~12.5μm红外波长范围内,(001)取向金刚石膜的折射率和消光系数几乎不随波长的改变而变化,折射率为2.391,消光系数在10-5范围内;对于(111)取向金刚石膜,其折射率和消光系数随波长的改变有微小变化,折射率和消光系数都低于(001)取向膜.通过计算拟合得到(001)取向金刚石膜的介电常数为5.83,优于(111)取向膜.
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| 关 键 词： | CVD金刚石膜 红外椭圆偏振光谱 折射率 消光系数 |
| 文章编号： | 1001-9014（2006）02-0086-04 |
| 收稿时间： | 2005-05-13 |
| 修稿时间： | 2005-09-21 |
STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS |
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| SU Qing-Feng,XIA Yi-Ben,WANG Lin-Jun,LIU Jian-Min,SHI Wei-Min. STUDIES ON INFRARED SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY OF DIFFERENT ORIENTED CVD DIAMOND FILMS[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2006, 25(2): 86-89 |
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| Authors: | SU Qing-Feng XIA Yi-Ben WANG Lin-Jun LIU Jian-Min SHI Wei-Min |
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| Affiliation: | School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | CVD diamond film infrared spectroscopic ellipsometry refractive index extinction coefficient |
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