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等离子体源离子注入技术
作者姓名:张振信  夏立芳
作者单位:哈尔滨科技大学,哈尔滨工业大学
摘    要:1.出现等离子体源离子注入技术的背景众所周知,金属材料的离子注入表面改性技术,与其他表面改性技术比较,具有以下突出的优点:(1)可以在不改变材料温度条件下,获得热力学非平衡组织,例如亚稳定相和

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