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电子束蒸发制备氧化钨、氧化镍薄膜的电致变色性能
引用本文:饶峰,汪建勋,韩高荣.电子束蒸发制备氧化钨、氧化镍薄膜的电致变色性能[J].材料科学与工程学报,2004,22(5):683-687.
作者姓名:饶峰  汪建勋  韩高荣
作者单位:浙江大学材料系,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027
基金项目:国家高技术研究发展计划(863计划)
摘    要:电致变色(EC)材料在外加电压作用下能可逆地改变其光学性能.其中氧化钨与氧化镍是典型的电致变色用材料.本文用电子束蒸发的方法在ITO玻璃基片上制备了此两种薄膜,研究了热处理工艺对薄膜结构与电致变色性能的影响.电致变色性能由电化学方法测试.封装的半固态智能窗器件具有很好的电致变色性能.

关 键 词:氧化钨  氧化镍  电致变色  电子束蒸发  电子束蒸发  蒸发制备  氧化钨  氧化镍薄膜  电致变色性能  Oxide  Films  Nickel  Tungsten  Oxide  Electron  Beam  Properties  器件  智能  半固态  封装  测试  化学方法  影响  薄膜结构  热处理工艺  研究
文章编号:1004-793X(2004)05-0683-05
修稿时间:2004年1月17日

Electrochromic Properties of Electron Beam Evaporated Tungsten Oxide and Nickel Oxide Films
RAO Feng,WANG Jian-xun,HAN Gao-rong.Electrochromic Properties of Electron Beam Evaporated Tungsten Oxide and Nickel Oxide Films[J].Journal of Materials Science and Engineering,2004,22(5):683-687.
Authors:RAO Feng  WANG Jian-xun  HAN Gao-rong
Abstract:Electrochromic(EC) materials exhibit variable and reversible optical properties under the action of voltage pulses. Tungsten oxide and nickel oxide are the most popular electrochromic materials. In this work, EC tungsten oxide and nickel oxide films were deposited on ITO coated glass substrates with electron beam evaporation. The effect of annealing technique of the structure and EC properties was discussed. Electrochromic properties of EC films were tested by electrochemical method. Semisolid-state smart window was encapsulated and it showed good electrochromic performance.
Keywords:Tungsten oxide  Nickel oxide  Electrochromic  Electron beam evaporation  
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