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纳米调制周期对CrWN/MoN纳米多层涂层结构和性能的影响
引用本文:李助军,包改磊,刘怡飞,张大童,李兆南,田灿鑫.纳米调制周期对CrWN/MoN纳米多层涂层结构和性能的影响[J].表面技术,2020,49(12):191-198.
作者姓名:李助军  包改磊  刘怡飞  张大童  李兆南  田灿鑫
作者单位:广州铁路职业技术学院,广州 510430;华南理工大学,广州 510640;岭南师范学院,广东 湛江 524048
基金项目:广州市高校创新创业教育平台项目(2017241201);广东省科技计划-国际合作项目(2018A050506082);岭南师范学院人才项目(ZL1931)
摘    要:目的 研究纳米调制周期对CrWN/MoN纳米多层涂层结构及性能的影响。方法 采用电磁永磁共控的阴极电弧离子镀技术,使用纯N2和合金CrW靶及纯金属Mo靶,制备不同调制周期厚度的CrWN/MoN纳米多层涂层,对CrWN/MoN纳米多层涂层的物相结构、微观形貌、硬度、摩擦系数和磨损率等进行分析。结果 CrWN/MoN纳米多层涂层由面心立方CrWN与六方d-MoN两相组成。随着调制周期减小,CrWN/MoN纳米多层涂层衍射峰强度逐渐减弱,d-MoN(202)衍射峰消失,涂层表面的大颗粒数量减少,表面质量得到改善。随着调制周期由45 nm减小到13 nm,涂层的硬度由29.4 GPa逐渐减小到25.5 GPa,当调制周期为8 nm时,CrWN/MoN纳米多层涂层硬度与弹性模量均达到最大值,分别为30.2 GPa和354.6 GPa。随着调制周期的减小,CrWN/MoN纳米多层涂层平均摩擦系数由0.45逐渐减小到0.29,磨损速率由4.2×10?7 mm3/(N.m)逐渐减小到3.3×10?7 mm3/(N.m)。结论 调制周期对CrWN/MoN纳米多层涂层性能影响较大,调制周期厚度为8 nm时,CrWN/MoN纳米多层涂层的硬度最大,耐磨性能最好。

关 键 词:电弧离子镀  CrWN/MoN纳米多层涂层  调制周期  纳米硬度  耐磨性能
收稿时间:2019/11/26 0:00:00
修稿时间:2020/11/8 0:00:00

Influence of Nanometer Modulation Period on Structure and Properties of CrWN/MoN Nano-multilayer Coatings
LI Zhu-jun,BAO Gai-lei,LIU Yi-fei,ZHANG Da-tong,LI Zhao-nan,TIAN Can-xin.Influence of Nanometer Modulation Period on Structure and Properties of CrWN/MoN Nano-multilayer Coatings[J].Surface Technology,2020,49(12):191-198.
Authors:LI Zhu-jun  BAO Gai-lei  LIU Yi-fei  ZHANG Da-tong  LI Zhao-nan  TIAN Can-xin
Affiliation:Guangzhou Railway Polytechnic, Guangzhou 510430, China;South China University of Technology, Guangzhou 510640, China; Lingnan Normal University, Zhanjiang 524048, China
Abstract:
Keywords:cathodic arc ion plating  CrWN/MoN nano-multilayer coatings  modulation period  nano-hardness  wear resistance
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