| 磁控溅射制备(Pb_(1-x)Sr_x)TiO_3系铁电薄膜的实验研究 |
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| 引用本文： | 孙平,王茂祥,孙彤,舒庆. 磁控溅射制备(Pb_(1-x)Sr_x)TiO_3系铁电薄膜的实验研究[J]. 真空科学与技术学报, 2001, 0(4) |
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| 作者姓名： | 孙平 王茂祥 孙彤 舒庆 |
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| 作者单位： | 东南大学电子工程系!南京210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目 (No .6 96 710 0 8)，光电技术及系统教育部重点实验室资助项目 (CETD0 0 0 9) |
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| 摘 要： | 钛酸锶铅 ((Pb1 -xSrx)TiO3,PST)固溶体材料是一种性能优良的钙钛矿型铁电材料 ,其形成铁电相的温度较低 ,且易于和半导体工艺结合 ,应用潜力较大。本文采用磁控溅射法制备了PST薄膜 ,并初步研究了其介电和铁电特性。结果表明 ,磁控溅射得到的PST薄膜必须进行一定的热处理 ,才能使之转变为具有铁电性的钙钛矿结构的铁电薄膜。其介电特性与测试频率有关 ,试样的饱和极化强度可达 19μC cm2 ,剩余极化强度可达 6 6 μC cm2 ,矫顽场强达 16kV cm ,热释电系数达10 - 4 C m2 ·K量级 ,表明所制备的PST薄膜具有良好的铁电性。
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| 关 键 词： | 钛酸锶铅 磁控溅射 介电特性 铁电特性 |
Studies of (Pb_(1-x) Sr_x)TiO_3 Ferroelectric Thin Films Grown by Magnetron-sputtering |
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| Sun Ping,Wang Maoxiang,Sun Tong,Shu Qing. Studies of (Pb_(1-x) Sr_x)TiO_3 Ferroelectric Thin Films Grown by Magnetron-sputtering[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2001, 0(4) |
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| Authors: | Sun Ping Wang Maoxiang Sun Tong Shu Qing |
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| Keywords: | Pb 1- x Sr x )TiO 3 Magnetron sputtering Dielectric property Ferroelectric property |
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