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| 512×512元帧转移EMCCD图像传感器 | |
| 引用本文： | 白雪平, 郑渝, 李金, 刘芳, 陈于伟, 汪朝敏. 512×512元帧转移EMCCD图像传感器[J]. 红外技术, 2016, 38(4): 300-304. |
| 作者姓名： | 白雪平 郑渝 李金 刘芳 陈于伟 汪朝敏 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十四研究所 |
| 摘 要： | 采用埋沟、三层多晶硅、两次金属工艺,研制出正照EMCCD器件.器件的像元尺寸16μm×16μm.器件在-20℃下工作,读出频率10 MHz,倍增增益可达1000倍以上,探测灵敏度5×10-4 lx. |
| 关 键 词： | EMCCD 帧转移 倍增增益 探测灵敏度 |
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