摘 要: | 本发明公开了一种用电火花结合离子束增强沉积复合改性钛合金表面的方法,包括下述步骤:在超声波作用下用有机溶剂清洗钛合金表面,清洗时间为5~10min;将经过时效处理后的钛合金用电火花表面强化器强化处理(电极材料为硅青铜或者YG-8型硬质合金),处理过程中用Ar气保护,Ar气流量为8L/min;用离子束增强沉积磁控溅射和多弧设备,在经过电火花强化处理过的钛合金表面用氩离子轰击清洗8~12min,沉积过程中也要用氩离子不断轰击已沉积的膜层,沉积用靶材为硅青铜。由于采用了电火花表面强化与离子束沉积结合方法,
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