| UV-LIGA制作微细群电极工艺研究 |
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| 引用本文： | 胡洋洋,朱荻,曾永彬,明平美.UV-LIGA制作微细群电极工艺研究[J].电加工与模具,2008(1):29-31,35. |
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| 作者姓名： | 胡洋洋 朱荻 曾永彬 明平美 |
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| 作者单位： | 1. 南京航空航天大学,南京,210016
2. 河南理工大学,焦作,454000 |
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| 摘 要： | 微细电火花加工和微细电解加工是当前微细加工领域的研究热点,利用微细群电极进行微细加工可显著提高加工效率.研究了UV-LIGA制作微工具电极的技术.以金属为基底,采用UV-LIGA工艺来制作微细群电极,改进了前烘、后烘、显影等工艺参数,分别在铜和不锈钢基底上通过注射式倒胶的方法制作出厚度达1 mm的SU-8胶结构,最大深宽比达10∶1,并通过微细电铸,获得了铜微细电极.
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| 关 键 词： | 金属基底 UV-LIGA工艺 SU-8胶 高深宽比 微细群电极 制作 群电极 工艺研究 Arrays Electrode Micro Study 微细电极 微细电铸 深宽比 结构 厚度 方法 注射 不锈钢 工艺参数 后烘 前烘 改进 基底 |
| 收稿时间： | 2007-09-13 |
| 修稿时间： | 2007年9月13日 |
Process Study of Micro Electrode Arrays |
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| Hu Yangyang,Zhu Di,Zeng Yongbin,Ming Pingmei.Process Study of Micro Electrode Arrays[J].Electromachining & Mould,2008(1):29-31,35. |
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| Authors: | Hu Yangyang Zhu Di Zeng Yongbin Ming Pingmei |
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| Affiliation: | Hu Yangyang,Zhu Di,Zeng Yongbin,Ming Pingmei (1.Nanjing University of aeronautics & A stronautics,Nanjing 210016,China,2.Henan Polytechnic University,Jiaozuo 454000,China) |
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| Abstract: | Micro-EDM and micro-ECM are the research hotspots in the micro-fabrication field.Use the electrode arrays can enhance the efficiency of the micro-EDM and the micro-ECM.In order to fabricate the multiple electrodes, it's necessary to use the metal substrate to fabricate the ultra-thick SU-8 microstructures in the UV-LIGA process.This paper optimized the characteristics of the UV-LIGA process such as coating method,pre-bake temperature & time,exposure time,post-bake temperature & time,and the development time... |
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| Keywords: | metal substrate UV-LIGA process SU-8 photoresist high aspect ratio micro electrode arrays |
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