| 环氧树脂多模光波导的研制 |
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| 引用本文： | 刘涛,杨敏,蒋志,李志山,王书荣. 环氧树脂多模光波导的研制[J]. 光电子．激光, 2015, 26(8): 1468-1472 |
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| 作者姓名： | 刘涛 杨敏 蒋志 李志山 王书荣 |
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| 作者单位： | 云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省 农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500;云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省 农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500;云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省 农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500;云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省 农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500;云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省 农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61167003)资助项目 (云南师范大学 太阳能研究所,教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,云南省农村能源重点工程实验室,云南 昆明 650500) |
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| 摘 要： | 以环氧树脂为材料,用简单、低成本的非接触式光 刻法制作多模光波导。通过实验,找出一种可靠有效的有机溶剂作为 显影剂及其相应的显影时间； 并研究了温湿度和旋涂工艺对光波导厚度的影响；以及光刻掩模版透光部分宽度、光刻 掩模版与下包 层之间的间距、曝光光强和曝光时间对光波导宽度的影响。扫描电子显微镜(SEM)对 样品形貌分析表明,脊形光波导表面光滑且侧壁笔直,光波导芯横截面约为 50μm×50μm。采用cut-back法,测出环氧树脂多模光波导的传输损耗为0.1dB/cm@850nm。考虑到 光电集成过程中对光波导的高温冲击,对样品进行了热稳定性试验,获得的最高稳定温 度为210℃。
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| 关 键 词： | 非接触式光刻 多模光波导 环氧树脂 光损耗 热稳定性 |
| 收稿时间： | 2015-04-10 |
Development of epoxy resin multimode optical waveguides |
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| Affiliation: | Key Laboratory of Advance Technology and Preparation for Renewable Energy Materials,Ministry of Education of China,Yunnan Province Key Laboratory of Rural Energy Engineering,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650500,Ch ina;Key Laboratory of Advance Technology and Preparation for Renewable Energy Materials,Ministry of Education of China,Yunnan Province Key Laboratory of Rural Energy Engineering,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650500,Ch ina;Key Laboratory of Advance Technology and Preparation for Renewable Energy Materials,Ministry of Education of China,Yunnan Province Key Laboratory of Rural Energy Engineering,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650500,Ch ina;Key Laboratory of Advance Technology and Preparation for Renewable Energy Materials,Ministry of Education of China,Yunnan Province Key Laboratory of Rural Energy Engineering,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650500,Ch ina;Key Laboratory of Advance Technology and Preparation for Renewable Energy Materials,Ministry of Education of China,Yunnan Province Key Laboratory of Rural Energy Engineering,Solar Energy Research Institute,Yunnan Normal University,Kunming 650500,Ch ina |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | non-contact lithography multimode optical waveguide epoxy resin optical los s thermal stability |
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