高性能分步重复对准系统的性能数据及混合匹配

本文简要地介绍了1980年问世的晶片分步重复对准系统,接着着重讨论了全晶片对准设备的混合匹配,详细论述了与混合匹配有关的问题(晶片预对准和曝光区的精对准)。给出了分辩率、套刻精度、生产率的基本性能数据,并报道了首次混合匹配的结果。