半导体探测器的研制及其性能

半导体探测器在扫描电镜中用以观察背散射电子形貌和元素成分像,与X光面分布像配合,可更清楚地显示分析试样上不同元素的分布和含量。我们比较了几种国产同类探测器,确定由中科院半导体所为我们试制半导体片,其性能基本满足要求,从而实现了扫描电镜用的半导体探头的国产化。本文介绍这种半导体探头及相关的放大器的基本性能。