| MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析 |
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| 引用本文： | 曾凡林,钟少龙,徐静,吴亚明.MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析[J].传感技术学报,2008,21(5):785-790. |
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| 作者姓名： | 曾凡林 钟少龙 徐静 吴亚明 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海微系统信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050;中国科学院研究生院,北京,100039;中国科学院上海微系统信息技术研究所:传感技术国家重点联合实验室,微系统技术国家级重点实验室,上海,200050 |
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| 基金项目： | 中国科学院知识创新工程项目，微系统技术国家级重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性.该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/根号Hz和0.28 μgn/根号Hz.对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27 μgn/根号Hz,光电检测在只考虑电学噪声时能分辨的最小加速度可达0.05 μgn.对比得出对于扭摆式加速度计结构,光电检测具有比电容检测更小的系统总噪声.
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| 关 键 词： | 电容检测 光电检测 热机械噪声 电学噪声 |
| 文章编号： | 1004-1699(2008)05-0785-06 |
| 修稿时间： | 2007年9月8日 |
Noise analysis of photoelectric and capacitive detection of MEMS accelerometer signal |
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| ZENG Fan-lin,ZHONG Shao-long,XU Jing,WU Ya-ming.Noise analysis of photoelectric and capacitive detection of MEMS accelerometer signal[J].Journal of Transduction Technology,2008,21(5):785-790. |
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| Authors: | ZENG Fan-lin ZHONG Shao-long XU Jing WU Ya-ming |
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| Affiliation: | 1. State Key Laboratory of Transducer Technology, National Key Laboratory of Microsystem Technology,
Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | capacitive detection photoelectric detection thermo-mechanical noise electrical noise |
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