| 电化学C-V法测量化合物半导体载流子浓度的研究进展 |
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| 引用本文： | 李晓云,牛萍娟,郭维廉.电化学C-V法测量化合物半导体载流子浓度的研究进展[J].微纳电子技术,2007,44(2):106-110. |
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| 作者姓名： | 李晓云 牛萍娟 郭维廉 |
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| 作者单位： | 1. 天津工业大学,信息与通信工程学院,天津,300160
2. 天津大学,电子信息学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 电化学C-V(ECV)法是当前测量化合物半导体载流子浓度分布的非常重要的方法。从ECV法的原理、设备、电解液的选择以及测量精度的保证四个方面对ECV法进行了分析和总结,对于不同材料电解液的选择提供了参考。
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| 关 键 词： | 电化学C-V法 载流子浓度 电解液 |
| 文章编号： | 1671-4776(2007)02-0106-05 |
| 修稿时间： | 2006-12-08 |
Review of Electrochemical Capacitance-Voltage Profiling of Compound Semiconductor |
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| LI Xiao-yun,NIU Ping-juan,GUO Wei-lian.Review of Electrochemical Capacitance-Voltage Profiling of Compound Semiconductor[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(2):106-110. |
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| Authors: | LI Xiao-yun NIU Ping-juan GUO Wei-lian |
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| Affiliation: | 1.School of Information and Communication, Tianjin Polytechnic University, Tianjin 300160, China; 2.School of Electronic Information Eng., Tianjin University, Tianjin 300072, China |
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| Abstract: | Electrochemical capacitance-voltage profiler(ECV)is the most convenient method to characterize the carrier concentration of compound semiconductor. The principle,instrument,the selection of electrolytes and the accuracy of ECV profiler were concluded. The selection of electrolytes for different materials was discussed. |
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| Keywords: | ECV concentration of carrier electrolytes |
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