α-Al_2O_3-Si界面电子结构的研究 |
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引用本文: | 沈清,林理彬.α-Al_2O_3-Si界面电子结构的研究[J].半导体学报,1986,7(3):248-253. |
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作者姓名: | 沈清 林理彬 |
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作者单位: | 四川大学物理系
(沈清),四川大学物理系(林理彬) |
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摘 要: | 本文用DV-SCC-X_a方法计算了α-Al_2O_3晶体及Si界面的电子结构,给出了对真实界面的模拟计算方法,讨论了界面模型和计算结果,得出了与实验相符的Al_2O_3-Si界面的定量结果,如电导率、能隙、态密度等.
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