首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

“二次扩散—一次氧化—镀镍”工艺生产晶闸管管芯
引用本文:李汉文.“二次扩散—一次氧化—镀镍”工艺生产晶闸管管芯[J].半导体技术,1990(6):57-58.
作者姓名:李汉文
作者单位:武汉半导体器件三厂
摘    要:“全扩散-镀镍”工艺具有节省黄金、技术简单与经济性较好的优点,国内曾报道过,本文介绍的是“二次扩散-一次氧化-镀镍”工艺,它比前者更简单,一般厂家都能采用。

关 键 词:晶闸管  管芯  工艺  扩散  氧化  镀镍
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录!
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号