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| 影响KT—150型扩散泵抽速因素的研究 | |
| 作者姓名： | 陈奇 陈益林 |
| 作者单位： | 合肥工业大学 合肥市230009(陈奇)，合肥工业大学 合肥市230009(陈益林) |
| 摘 要： | 本文运用气体动力学的理论，重点从结构上分析了影响ＫＴ－１５０型扩散泵的抽速因素。对设计其他类型的扩散泵具有一定的参考作用。 |
| 关 键 词： | 扩散泵 扩张率 抽速 真空 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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