| 基于PVDF扫描测头的电路系统构建及性能测试 |
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| 引用本文： | 魏晋鹏,李志渤,黄强先. 基于PVDF扫描测头的电路系统构建及性能测试[J]. 仪表技术与传感器, 2012, 0(10) |
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| 作者姓名： | 魏晋鹏 李志渤 黄强先 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥,230009 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，教育部博士点基金资助项目 |
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| 摘 要： | 一种采用PVDF薄膜和压电传感器结合钨探针构成的新型扫描测头可以对柔软易损坏及具有大台阶特征的表面实现高精度非破坏性测量.基于该新型测头构建了硬件电路系统,并通过相关试验测试了系统特性.试验结果证明:该扫描测头在垂直方向上可实现亚纳米级的分辨率.
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| 关 键 词： | PVDF薄膜 电路构建 性能测试 扫描探针显微镜 |
Build and Performance Testing of Circuit System Based on Scanning Probe by PVDF Membrane |
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| WEI Jin-peng , LI Zhi-bo , HUANG Qiang-xian. Build and Performance Testing of Circuit System Based on Scanning Probe by PVDF Membrane[J]. Instrument Technique and Sensor, 2012, 0(10) |
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| Authors: | WEI Jin-peng LI Zhi-bo HUANG Qiang-xian |
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| Keywords: | |
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