|
|||||
|
|
| 采用全息光学元件的非接触光学测头 | |
| 引用本文： | 庄葆华,张吉华,等.采用全息光学元件的非接触光学测头[J].计量学报,1992,13(1):19-23. |
| 作者姓名： | 庄葆华 张吉华 |
| 作者单位： | 天津大学精密仪器工程系 (庄葆华，张吉华，李真，吕克谦，王秉明)，美国特拉华大学(C.S.Ih) |
| 摘 要： | 本文介绍一种采用全息光学元件构成的光触针式非接触光学测头，着重探讨了用电子束曝光法制作全息光学元件的一些技术问题，给出了部分计算机模拟及实验结果。 |
| 关 键 词： | 光学测头 全息光学 电子束曝光法 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |