| 3B1束线上LIGA掩模的设计研究 |
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| 引用本文： | 黄军容,彭良强,伊福廷,蒋毅坚,张菊芳,韩勇.3B1束线上LIGA掩模的设计研究[J].微纳电子技术,2003(Z1). |
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| 作者姓名： | 黄军容 彭良强 伊福廷 蒋毅坚 张菊芳 韩勇 |
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| 作者单位： | 中国科学院高能物理研究所，中国科学院高能物理研究所，中国科学院高能物理研究所，北京工业大学国家产学研激光技术中心，中国科学院高能物理研究所，中国科学院高能物理研究所 北京100039，北京工业大学国家产学研激光技术中心，北京100022，北京100039，北京100039，北京100022，北京100039，北京100039 |
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| 摘 要： | BSRF中的 3B1光束线与LIGA实验站过去使用的 3W 1光束线相比 ,其同步辐射X光光谱较软、光强较弱 ,但可实现专用光和兼用光两用。现在LIGA实验站移到 3B1光束线 ,为此必须进行新的LIGA掩模设计、制作。结合此研究目的 ,本文通过使用XOP和Origin两个软件进行设计、计算 ,分别得到了专用和兼用时 3B1光束线在传输过程中的各级能谱图和传输、吸收数据 ,并针对这两种不同的用光情况分别设计、研究了两种不同组合的掩模 :Au PI组合和Au Si组合。
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| 关 键 词： | LIGA 掩模 X射线 |
Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline |
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| HUANG Jun rong ,PENG Liang qiang ,YI Fu ting ,JIANG Yi jian ,ZHANG Ju fang ,HAN Yong.Design on X-ray masks for LIGA station in 3B1 beamline[J].Micronanoelectronic Technology,2003(Z1). |
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| Authors: | HUANG Jun rong PENG Liang qiang YI Fu ting JIANG Yi jian ZHANG Ju fang HAN Yong |
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| Affiliation: | HUANG Jun rong 1,2,PENG Liang qiang 1,YI Fu ting 1,JIANG Yi jian 2,ZHANG Ju fang 1,HAN Yong 1 |
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| Abstract: | The X ray masks used in 3W1 beamline cannot be used in 3B1 beamline any more because the X ray spectrum is different from each other. So it is necessary to design and fabricate new masks for LIGA station in 3B1 beamline. In this paper, we figured out X ray spectrums during transmission course by computing with XOP and Origin software. We also designed and studied two kinds of different masks: Au PI masks and Au Si masks, respectively. |
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| Keywords: | LIGA mask X ray |
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