小孔测量的一种新方法

小孔的尺寸测量是几何测量中较难解决的问题之一,本文在对现有测量方法进行分析比较的基础上,提出了采用新的电藕合光电二极管器件(CCPD),利用光电结合的方法进行小孔尺寸的测量,扩大该器件在几何量测量中的应用。如果采用数显装置,更适合于生产现场使用,有利于生产线中的在线自动检测。