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| 铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能 | |
| 引用本文： | 贾波,苏革,刘天中,曹立新,柳伟,孙武珠,董征,王景. 铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶-凝胶法制备及性能[J]. 材料导报, 2010, 24(Z1) |
| 作者姓名： | 贾波 苏革 刘天中 曹立新 柳伟 孙武珠 董征 王景 |
| 作者单位： | 1. 中国海洋大学材料科学与工程研究院,青岛,266100 2. 中国科学院青岛生物能源与过程研究所,青岛,266101 3. 中国科学院金属研究所,沈阳,110016 |
| 基金项目： | 国家教育部留学回国人员科研启动基金 |
| 摘 要： | 运用室温溶胶-凝胶技术和热处理工艺,在载玻片上制备了铝离子掺杂的ZnO薄膜.采用X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的成分、结构和形貌进行了表征;采用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光性能进行了研究.结果表明,所制备的氧化锌薄膜为六方纤锌矿结构,沿C轴方向择优生长;铝离子的掺杂没有改变氧化锌的基本结构,所掺杂的铝离子为取代锌离子的替位掺杂;热处理后,氧化锌颗粒为六角形针(柱)状形貌;随着热处理温度的升高,薄膜的透光率增大;经600℃热处理后随着铝离子掺杂浓度的增加,薄膜的透光率先增大后减小,当铝离子掺杂浓度为2%时透光率最大;当铝离子掺杂浓度较大时,晶格畸变的影响使薄膜的透光率减小.当溶胶浓度为0.6mol/L、铝离子掺杂浓度为2%和热处理温度为600℃时,所制备薄膜的质量和性能最好. |
| 关 键 词： | 溶胶-凝胶法 铝离子掺杂氧化锌 透光率 |
Sol-gel Fabrication and Characterization of Al-doped ZnO Thin Films |
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| JIA Bo,SU Ge,LIU Tianzhong,CAO Lixin,LIU Wei,SUN Wuzhu,DONG Zheng,WANG Jing. Sol-gel Fabrication and Characterization of Al-doped ZnO Thin Films[J]. Materials Review, 2010, 24(Z1) | |
| Authors: | JIA Bo SU Ge LIU Tianzhong CAO Lixin LIU Wei SUN Wuzhu DONG Zheng WANG Jing |
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