| 纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定 |
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| 引用本文： | 钱剑钊,黄强先,李瑞君,龚伟,王志伟,王晨晨. 纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定[J]. 传感技术学报, 2012, 25(5): 604-608 |
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| 作者姓名： | 钱剑钊 黄强先 李瑞君 龚伟 王志伟 王晨晨 |
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| 作者单位： | 1. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009
2. 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥 230009;安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系,合肥230051 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)，国家自然科学基金 |
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| 摘 要： | 三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。
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| 关 键 词： | 模拟探头 DVD激光读取头 标定 纳米三坐标测量机 |
Calibration of an Analogue Contact Probe for Nano-Coordinate Measurement Machines (CMM) |
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| QIAN Jianzhao , HUANG Qiangxian , LI Ruijun , GONG Wei , WANG Zhiwei , WANG Chenchen. Calibration of an Analogue Contact Probe for Nano-Coordinate Measurement Machines (CMM)[J]. Journal of Transduction Technology, 2012, 25(5): 604-608 |
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| Authors: | QIAN Jianzhao HUANG Qiangxian LI Ruijun GONG Wei WANG Zhiwei WANG Chenchen |
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| Affiliation: | 1(1.School of Instrument Science and Opto-Electric Engineering,Hefei University of Technology,Hefei 230009,China; 2.Anhui Electrical Engineering Professional Technique College,Hefei 230051,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | analogue probe DVD pick-up head calibration micro/nano-coordinate measurement machine |
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