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| 铬-银系多层布线 | |
| 引用本文： | 王凤秀.铬-银系多层布线[J].微电子学,1972(6). |
| 作者姓名： | 王凤秀 |
| 摘 要： | 1.前言在设计集成电路、大规模集成电路时,关系到简便化、高速化及器件的超高密度的多层布线的研究在国内外均很重视。目前,把常用的钼单层布线应用于多层布线时,由于物理化学的和电气性质的不稳定而给可靠性带来了许多问题,它的适用性看来还有问 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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