PDMS基体等离子法键合工艺及效果分析

为探究聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体在等离子法下以不同工艺参数处理及处理后在不同键合时间,键合加载压力下的PDMS-PDMS键合效果,设计进行了3因素4水平正交试验及对比试验。试验结果表明:因素影响从主到次的顺序为空气流量、改性时间、射频功率,得到快速不可逆键合(键合5 min)工艺参数:400 W,2.5 L/min,2 min;中、高射频功率(300 W以上)键合10 h键合效果达到实验要求,低射频功率(200 W以下)键合超过24 h仍未达到试验要求;当键合加载压力超过0.4 MPa时,键合效果显著提升。