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| 基于二象限探测器的离焦探测 | |
| 作者姓名： | 梁宜勇 杨国光 |
| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027;浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
| 摘 要： | 为同时获取离焦方向和离焦量,二象限探测器是最简探测器。在由二象限探测器构成的离焦探测系统中,当光斑移动方向与探测器分界线有一固定或变动夹角时,将引起离焦曲线变化或不稳定。此外,实际的探测器所具有的死区也会影响离焦曲线,同时还限制离焦动态范围。由除法构建的离焦算法,已被用于激光直写中离焦探测部分的设计。 |
| 关 键 词： | 离焦 二象限探测器 激光直写 |
| 文章编号： | 1005-5630(2004)06-0007-05 |
| 修稿时间： | 2004-03-17 |
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