| Si过渡层对梯度影响类金刚石薄膜结合力的影响研究 |
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| 引用本文： | 胡德平,刘成龙,齐民,杨大智,李国卿,徐军.Si过渡层对梯度影响类金刚石薄膜结合力的影响研究[J].功能材料,2005,36(10):1561-1563,1567. |
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| 作者姓名： | 胡德平 刘成龙 齐民 杨大智 李国卿 徐军 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,三束材料表面改性国家重点联合实验室,辽宁,大连,116024;大连理工大学,材料系,辽宁,大连,116024;大连理工大学,三束材料表面改性国家重点联合实验室,辽宁,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（50081001） |
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| 摘 要： | 实验利用双放电腔微波-ECR等离子体源设备,采用复合PVD（physical vapor deposition）和PECVD（plasma enhanced chemical vapor deposition）的方法, 先后在NiTi基体上沉积Si和Si/α-C∶H过渡层,然后制备类金刚石薄膜.Raman光谱和透射电镜表明制备的梯度薄膜是典型的类金刚石薄膜,划痕的测试结果表明, Si过渡层沉积时间影响着梯度类金刚石薄膜与NiTi合金基体之间的结合强度,当沉积时间在60min左右时可获得具有最好结合强度的梯度薄膜,而超过或低于这个时间值会导致膜基结合强度降低.
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| 关 键 词： | NiTi合金 类金刚石薄膜 过渡层 结合强度 划痕法 |
| 文章编号： | 1001-9731（2005）10-1561-03 |
| 收稿时间： | 2005-01-25 |
| 修稿时间： | 2005-01-252005-03-20 |
Effects of different Si-interlayer deposition time on the adhesive properties of DLC films |
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| HU De-ping,LIU Cheng-long,QI Min,YANG Da-zhi,LI Guo-qing,XU Jun.Effects of different Si-interlayer deposition time on the adhesive properties of DLC films[J].Journal of Functional Materials,2005,36(10):1561-1563,1567. |
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| Authors: | HU De-ping LIU Cheng-long QI Min YANG Da-zhi LI Guo-qing XU Jun |
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| Affiliation: | 1. Department of Materials and Engineering, Dalian University of Technology,Dalian l16024,China; 2. Department of Materials Engineering, State Key Laboratory for Material Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | riNi alloy diamond-like carbon coating graded layer adhesion strength scratch test |
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