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| X波段MEMS膜开关的阻抗分析模型 | |
| 作者姓名： | 郑惟彬 黄庆安 廖小平 李拂晓 |
| 作者单位： | [1]东南大学MEMS教育部重点实验室，江苏南京210096 [2]南京电子器件研究所，江苏南京210016 |
| 摘 要： | 射频微机械(RFMEMS)开关由于其优越的高频特性在微波和毫米波电路中表现出巨大的应用前景．但是目前对微机械开关的研究主要都集中在开关梁的结构设计和力学分析上，对开关的电磁特性的研究，尤其是开关高频阻抗匹配分析的研究与验证比较少．本文在高频传输线研究的基础上，推导出微机械开关的“开态”阻抗匹配模型，并利用HFSS软件对开关的高频特性进行模拟．其结果有助于设计高性能的RF MEMS开关． |
| 关 键 词： | 微机械膜开关 阻抗匹配 插入损耗 隔离度 |
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