| 三氟化硼制备及纯化进展 |
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| 引用本文： | 赵鹏德,常琳,李子宽,范正林. 三氟化硼制备及纯化进展[J]. 低温与特气, 2021, 39(6): 1-4,24. DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2021.06.001 |
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| 作者姓名： | 赵鹏德 常琳 李子宽 范正林 |
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| 作者单位： | 中昊光明化工研究设计院有限公司,辽宁 大连116031 |
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| 摘 要： | 三氟化硼是一种具有重要意义的高附加值电子气体,随着半导体产业的高速发展,对电子气体的纯度提出了更高要求,文中详细论述了三氟化硼合成制备及纯化的研究进展,以此根据实际生产制备条件,选择不同纯化方法进行提纯.
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| 关 键 词： | 三氟化硼 电子气体 制备 纯化 |
Research Progress on Preparation and Purification of Boron Trifluoride |
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| ZHAO Pengde,CHANG Lin,LI Zikuan,FAN Zhenglin. Research Progress on Preparation and Purification of Boron Trifluoride[J]. Low Temperature and Specialty Gases, 2021, 39(6): 1-4,24. DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2021.06.001 |
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| Authors: | ZHAO Pengde CHANG Lin LI Zikuan FAN Zhenglin |
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