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砷化镓单片微波集成电路取得初步成果
作者姓名:
单片集成组
摘 要:
<正>随着砷化镓材料工艺和肖特基势垒栅场效应管工艺的臻于成熟,近几年来国外对砷化镓单片微波集成电路的研究兴趣越来越大.由于采用集成电路工艺手段,能将包括有源器件和无源元件的微波部件或者分机同时成批地制作于尺寸不大的砷化镓芯片上,所以人们预计这种单片集成电路近期内在卫星电视广播家用接收机和相控阵雷达等领域内具有潜在的优越性.
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