| 相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用 |
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| 引用本文： | 王权陡,余景池,张忠玉,张学军. 相移干涉技术在小角度及直线度测量中的应用[J]. 计量学报, 2002, 23(1): 6-9 |
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| 作者姓名： | 王权陡 余景池 张忠玉 张学军 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光机所应用光学国家重点实验室,长春,130022 |
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| 摘 要： | 应用相移干涉及Zernike多项式波面拟合技术实现对空间小角度的高精度测量 ,测量精度可达到 0 0 13″。与采用自准直仪、激光干涉小角度测量仪的测量方法相比较 ,测量精度有较大幅度的提高。与测长设备 光栅尺结合使用 ,可同时高精度测量导轨俯仰和偏摆两方向上的直线度
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| 关 键 词： | 相移干涉 Zernike多项式 直线度 |
| 文章编号： | 1000-1158(2002)01-0006-04 |
| 修稿时间： | 2000-12-08 |
Application of Phase Shift Interferometry to the Measurement of Small Angle and Linearity |
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| WANG Quan dou,YU Jing chi,ZHANG Zhong yu,ZHANG Xue jun. Application of Phase Shift Interferometry to the Measurement of Small Angle and Linearity[J]. Acta Metrologica Sinica, 2002, 23(1): 6-9 |
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| Authors: | WANG Quan dou YU Jing chi ZHANG Zhong yu ZHANG Xue jun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Phase shift interferometry Zernike polynomial Linearity |
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