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金属材料改性的离子注入技术
引用本文:
李时俊.金属材料改性的离子注入技术[J].微细加工技术,1995(4).
作者姓名:
李时俊
作者单位:
长沙电子部第48研究所
摘 要:
本文概述了金属离子注入技术的特点,并就国内外的应用情况,介绍了离子注入后,金属材料耐磨性、抗蚀性显著改善的研究。着重对金属离子注入机的要求和发展方向作了简要介绍。
关 键 词:
金属材料改性
离子注入
耐磨性
抗蚀性。
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