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PEMSIP法沉积的TiN涂层对刀具切削性能的影响
作者姓名:
王玉魁 王平 韩会民 王传恩 高路斯
摘 要:
基片负偏压增加,使等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的相组成朝着富氨相及其含量增加的方向发展,由Ti2N和TiK两相组成的涂层硬度最高,可达Hk2460。切削力测定表明,由Ti2N和TiN两相组成的刀具涂层使切削力略有下降。涂层能明显提高刀具耐用度。
关 键 词:
刀具 TiN涂层 对刀 切削性能 切削力 相组成 两相 等离子体增强 基片 沉积
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