| 厚度对溶胶-凝胶法制备锂掺杂ZnO薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 周呈悦,马忠权,张楠生.厚度对溶胶-凝胶法制备锂掺杂ZnO薄膜性能的影响[J].硅酸盐学报,2009,37(8). |
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| 作者姓名： | 周呈悦 马忠权 张楠生 |
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| 作者单位： | 上海大学物理系,索朗光伏材料与器件,R,&,D,联合实验室,上海,200444 |
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| 基金项目： | 上海市教委创新基金，上海大学一索朗光伏材料与器件R&D联合实验室发展基金 |
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| 摘 要： | 采用溶胶-凝胶旋涂法在玻璃衬底上制备了不同厚度的ZnO:Li半导体薄膜.采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜分析了薄膜的物相结构和形貌,用Hall效应测量仪常温下测量薄膜的电学性能.结果表明:该薄膜具有高度的c轴择优取向性,所有薄膜只有1个(002)衍射峰,并且衍射强度随着膜厚增加而加强.ZnO:Li薄膜晶粒呈柱状,晶粒直径不随膜厚改变,约为40 um.ZnO:Li薄膜为P型导电,薄膜越厚,其电学性能与晶体结晶越好,(002)方向择优取向生长越明显.电阻率随着膜厚增加而减小,最小的电阻率为1.32×102(Ω·cm).载流子-空穴浓度为3.546×1016/cm3,迁移率为1.34cm2/(V·s).ZnO:Li薄膜在可见光范围内的透过率达到90%,薄膜对紫外光的吸收与厚度有关.
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| 关 键 词： | 锂掺杂氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 薄膜厚度 结构分析 电学性能 |
EFFECTS OF THICKNESS OF Li-DOPED ZnO FILMS GROWN BY SOL-GEL METHOD ON THEIR PROPERTIES |
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| ZHOU Chengyue,MA Zhongquan,LI Feng,ZHANG Nansheng.EFFECTS OF THICKNESS OF Li-DOPED ZnO FILMS GROWN BY SOL-GEL METHOD ON THEIR PROPERTIES[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2009,37(8). |
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| Authors: | ZHOU Chengyue MA Zhongquan LI Feng ZHANG Nansheng |
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