| 形状记忆合金薄膜驱动微泵的动态特性 |
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| 引用本文： | 徐东,王莉,丁桂甫,周勇,俞爱斌,程秀兰,陈鉴,蔡炳初.形状记忆合金薄膜驱动微泵的动态特性[J].微细加工技术,2002(1):54-59. |
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| 作者姓名： | 徐东 王莉 丁桂甫 周勇 俞爱斌 程秀兰 陈鉴 蔡炳初 |
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| 作者单位： | 上海交通大学信息存储研究中心薄膜与微细技术国家教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 摘 要： | 一种用形状记忆合金薄膜驱动的新型微泵已经研制成功。为了进一步提高微泵性能，研究了微泵在不同驱动条件下的动态特性。结果表明，随着驱动电流和频率的增加，驱动膜有一个最大的位移植。占空比对最大位移的影响在有无流体情况下是不同的。微泵的流量不仅仅由驱动膜的位移决定，它还与驱动频率有关。在给定的频率下，位移越大，输出流量也越大。动态驱动过程中NiTi电阻的变化表明，形状记忆合金薄膜的马氏体←→奥氏体相转变是不完全的。
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| 关 键 词： | 薄膜 形状记忆合金 微泵 动态驱动特性 |
| 文章编号： | 1003-8213(2002)01-0054-06 |
| 修稿时间： | 2001年2月15日 |
Dynamic Actuation Behavior of Micropump Actuated by SMA Thin Film |
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| XU Dong,WANG Li,DING Gui fu,ZHOU Yong,YU Aibing,CHENG Xiu lan,Chen jian,CAI Bing chu.Dynamic Actuation Behavior of Micropump Actuated by SMA Thin Film[J].Microfabrication Technology,2002(1):54-59. |
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| Authors: | XU Dong WANG Li DING Gui fu ZHOU Yong YU Aibing CHENG Xiu lan Chen jian CAI Bing chu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin film shape memory alloy micropump microactuator dynamic actuating behavior |
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