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| 光电子学微系统—集成光学在硅片上的新工艺 | |
| 引用本文： | 大舟.光电子学微系统—集成光学在硅片上的新工艺[J].光机电信息,1994(8). |
| 作者姓名： | 大舟 |
| 摘 要： | 利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子学和光电子学半导体元件,以混合制造和连接技术,相互拼合在同一块硅 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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