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| 微波法制备单晶金刚石的研究进展 | |
| 引用本文： | 黄平,汪建华,刘繁,翁俊,王小安.微波法制备单晶金刚石的研究进展[J].武汉工程大学学报,2016(4):357-363. |
| 作者姓名： | 黄平 汪建华 刘繁 翁俊 王小安 |
| 作者单位： | 等离子体化学与新材料湖北省重点实验室(武汉工程大学) |
| 基金项目： | 湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目(Q20151517);武汉工程大学科学研究基金项目(K201506) |
| 摘 要： | 人工合成金刚石的方法主要有高温高压法和化学气相沉积法两种.高温高压法制备的金刚石尺寸小,无法避免金属杂质使得制备的金刚石应用受到限制.在所有的化学气相沉积中,微波等离子体化学气相沉积法具有无放电污染,能量转换效率高,工艺参数易于调节等优点.用微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸、高速率、高质量的单晶金刚石受到广泛重视.介绍了微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石的制备工艺,对提高金刚石生长速率,扩大金刚石单晶尺寸两个方面的研究进展进行了综述,并对单晶金刚石的前景进行了展望. |
| 关 键 词： | 微波等离子体 化学气相沉积 单晶金刚石 |
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