镀膜玻璃的膜系特性及生产工艺控制

介绍了金属膜、介南膜对光透射、反射及吸收的机理，并对常用的金属膜化合物膜的性能加以说明，以制备化合物膜工艺及工艺参数对膜质量的关系作了定性的分析，结合生产实际阐述了靶功率、反应气体的分压强、膜厚的控制、通气的方式与膜系与膜质量的关系。