|
|||||
|
|
| 圆度误差分离技术中若干问题的探讨 | |
| 引用本文： | 叶京生,顾启泰.圆度误差分离技术中若干问题的探讨[J].计量学报,1992,13(3):170-175. |
| 作者姓名： | 叶京生 顾启泰 |
| 作者单位： | 清华大学 (叶京生)，清华大学(顾启泰) |
| 摘 要： | 由Talyrond 3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC微机组成了计算机辅助纳米级圆度测量系统,它采用多步法误差分离技术,将圆度仪的测量精度由原来的0.025μm提高到0.002μm。讨论了多步法的原理、方法误差能及分度转台设计中的几个问题。 |
| 关 键 词： | 圆度 分离 误差 测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |