圆度误差分离技术中若干问题的探讨 |
| |
引用本文: | 叶京生,顾启泰.圆度误差分离技术中若干问题的探讨[J].计量学报,1992,13(3):170-175. |
| |
作者姓名: | 叶京生 顾启泰 |
| |
作者单位: | 清华大学
(叶京生),清华大学(顾启泰) |
| |
摘 要: | 由Talyrond 3型圆度仪、精密分度转台和IBM-PC微机组成了计算机辅助纳米级圆度测量系统,它采用多步法误差分离技术,将圆度仪的测量精度由原来的0.025μm提高到0.002μm。讨论了多步法的原理、方法误差能及分度转台设计中的几个问题。
|
关 键 词: | 圆度 分离 误差 测量 |
本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录! |
|