|
|||||
|
|
| 当前电子产品生产的洁净室面积及空调冷负荷大户 | |
| 引用本文： | 严德隆. 当前电子产品生产的洁净室面积及空调冷负荷大户[J]. 洁净与空调技术, 2003, 0(3): 58-59 |
| 作者姓名： | 严德隆 |
| 作者单位： | 严德隆（100840,北京307信箱） |
| 摘 要： | 1 当前集成电路(IC)及平板显示模块(FPD)生产的洁净室面积及型式 IC生产需要较多的洁净室面积,新兴起的FPD生产,当前主要是薄膜晶体管液晶显示模块(TFT-LCD),更是后来居上。这些产品生产需要大量的洁净室面积都是由生产工艺特点的要求以及规模经济情况决定的。 |
| 关 键 词： | 洁净室 空调 冷负荷 电子产品 集成电路 薄膜晶体管 |
| 修稿时间： | 2003-08-01 |
Oversized cleanrooms and immerse cooling loads in some electronic products production |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |