| CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响 |
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| 引用本文： | 陈文静,陈锋,苏显渝,曹益平,张启灿,向立群.CCD抽样过程对傅里叶变换轮廓术测量的影响[J].光电子．激光,2005,16(9):1074-1079. |
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| 作者姓名： | 陈文静 陈锋 苏显渝 曹益平 张启灿 向立群 |
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| 作者单位： | 四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064;四川大学光电科学技术系,四川,成都,610064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（10376018）;四川省应用基础研究资助项目（olgy051-07） |
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| 摘 要： | 针对傅里叶变换轮廓术（FTP）测量中的离散过程理论分析存在的不足，讨论了以前被忽略的CCD的取样过程以及CCD像元尺寸对FTP测量的影响，建立了完整的CCD抽样的数学模型，分析了CCD像元的光敏单元尺寸大小对FTP测量的影响，讨论了CCD取样所引起的信号失真和频谱混叠问题，给出了相关的表达式和判断准则，使得基于离散傅里叶变换的FTP分析方法更贴近实际测量。
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| 关 键 词： | 傅里叶变换轮廓术(FTP) 抽样 测量精度 |
| 文章编号： | 1005-0086（2005）09-1074-06 |
| 收稿时间： | 2005-01-13 |
| 修稿时间： | 2005-01-132005-05-17 |
Influence of the Sampling of CCD Cameras in FTP |
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| Chen WenJing;Chen Feng;Su XianYu;Cao YiPing;Zhang QiCan;Xiang LiQun.Influence of the Sampling of CCD Cameras in FTP[J].Journal of Optoelectronics·laser,2005,16(9):1074-1079. |
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| Authors: | Chen WenJing;Chen Feng;Su XianYu;Cao YiPing;Zhang QiCan;Xiang LiQun |
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| Abstract: | We discussed the influence of the pixel size of CCD in the sampling process in Fourier transform profilometry(FTP) which is ignored in theoretic analysis earlier.And an integrated mathematical model of sampling of CCD is established to analyze the influence of the pixel size of CCD in FTP.Signal distortion and superposition of spectra are also discussed.Correlative expression and criterion of estimation are presented which presses FTP based on discrete Fourier transform closer to practice. |
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| Keywords: | Fourier transform proflometry(FTP) sampling measure precision |
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