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| 用MEMORY仿真技术开发光刻伺服驱动器成品样机 | |
| 作者姓名： | 肖正文 张江凌 胡学骏 唐勇 |
| 作者单位： | 武汉华中理工大学计算机系 430074(肖正文，张江凌，胡学骏)，武汉华中理工大学计算机系 430074(唐勇) |
| 摘 要： | 对MEMORY仿真和CPU仿真进行了比较,分析了用MEMORY仿真技术开发光刻伺服驱动器成品样机的优越性,给出了MEMORY仿真器的原理框图,MEMORY仿真的研制及应用于光刻伺服驱动器的开发过程. |
| 关 键 词： | MEMORY仿真 CPU仿真 光刻伺服驱动器 |
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