日本东丽拟批量生产12英寸硅片用化学机械抛光垫片

日本东丽工业公司（Toray）正在研究大批量生产12英寸硅片化学机械抛光（CMP）用的下一代垫片，以高抛光速度和均匀度提升潜在用户对产品的兴趣。该项目可能在日本的滋贺县大津（Otsu）或其他地方投入工业化生产。该项目正在滋贺县进行大批量试生产。