| 金刚石薄膜的红外吸收谱研究 |
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| 引用本文： | 杨国伟 毛友德. 金刚石薄膜的红外吸收谱研究[J]. 红外技术, 1993, 15(6): 18-21 |
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| 作者姓名： | 杨国伟 毛友德 |
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| 作者单位： | 航空航天部014中心，合肥工业大学应用物理系 洛阳 471009，合肥 230009 |
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| 摘 要： | 研究了热丝CVD金刚石薄膜的红外反射吸收谱,讨论了金刚石薄膜中H、N等杂质和晶粒晶型、晶粒尺度对膜红外透过率的影响。
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| 关 键 词： | 金钢石薄膜 红外吸收 红外材料 |
Study on Infrared Absorption Spectrum of Diamond Thin Films |
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| Yang Guowei. Study on Infrared Absorption Spectrum of Diamond Thin Films[J]. Infrared Technology, 1993, 15(6): 18-21 |
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| Authors: | Yang Guowei |
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| Abstract: | Infared reflection and absorption spectra of HFCVD grown diamond thin films have been investigated. The effect of H and N impurities, crystal shape and crystal grain size on the film infrared transmittance is discussed. |
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| Keywords: | Diamond thin film Infrared absorption Impurity absorption |
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