| 氮分压对CrNx薄膜相结构与力学性能的影响 |
| |
| 引用本文： | 李戈扬,张俊秋,韩增虎,张惠娟.氮分压对CrNx薄膜相结构与力学性能的影响[J].电子显微学报,2002,21(5):629-630. |
| |
| 作者姓名： | 李戈扬 张俊秋 韩增虎 张惠娟 |
| |
| 作者单位： | 1. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030
2. 上海交通大学高温材料及高温测试教育部重点实验室,上海,200030 |
| |
| 摘 要： | ＣｒＮｘ 薄膜具有很高的硬度和耐磨性 ,其高温抗氧化性和耐腐蚀性优良 ,不但可作为耐磨涂层用于工模具和切削工具的表面强化 ,而且在表面防腐和装饰等许多工业领域也有重要用途1] 。同已经得到广泛工业应用的ＴｉＮ薄膜相比 ,ＣｒＮｘ 薄膜的硬度更高 ,而且具有比ＴｉＮ更好的耐腐蚀性能2 ] 。ＣｒＮｘ 薄膜溅射产额比较高 ,有利于大批量的工业生产 ,更具有实用价值3 ] 。ＣｒＮｘ 薄膜采用ＳＰＣ 35 0多功能磁控溅射仪制备。在射频阴极 (ｒ .ｆ.)上安装纯Ｃｒ靶 (99 99% )作为溅射材料 ,高速钢基片经 1μｍ金刚石研磨膏抛光后 ,用丙酮…
|
| 关 键 词： | 氮分压 CrNx薄膜 相结合 力学性能 氮化铬薄膜 |
Effect of N2 partial pressure on the phase formation and mechanical properties of magnetron sputtered CrNx films |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
