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强流离子光学计算方法
作者姓名:戴习毛
摘    要:本文讨论利用计算机辅助设计建立强流离子光学的一种计算方法,可直接绘出空间电位分布及离子运动轨迹,并且设计验证了几个实例,获得满意的结果。

关 键 词:强流离子光学 离子注入 半导体器件 计算
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