过滤器及纯化器期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

过滤器及纯化器

摘要：	工艺气体系统过滤器及纯化器可除去99.9999％的大于0.01μm的粒子,使粒子、湿气、O_2、CO_2、CO和其它杂质降到1位数或十亿分之几含量。此装置安有316L不锈钢壳体,适用于大部分腐蚀气体、惰性气体
本文献已被 CNKI 等数据库收录！