| PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究 |
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| 引用本文： | 孙柏,邹崇文,刘忠良,徐彭寿,张国斌,韦世强.PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究[J].真空科学与技术学报,2006,26(6):446-450. |
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| 作者姓名： | 孙柏 邹崇文 刘忠良 徐彭寿 张国斌 韦世强 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学,国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研项目;中国科学院知识创新工程项目 |
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| 摘 要： | 在不同的衬底温度下，通过脉冲激光淀积（PLD）方法在Si衬底上生长出c轴高度取向的ZnO薄膜。ZnO薄膜的结构分别通过X射线衍射（XRD）和广延X射线吸收精细结构（EXAFS）来表征，而表面成份和化学态则通过X射线光电子能谱来研究。利用光致发光（PL）来研究样品的发光特性。XRD结果和EXAFS结果都表明了500℃时生长的ZnO薄膜的结晶性比300℃时生长的要好。EXAFS结果和XPS结果显示，300℃时生长的ZnO薄膜处于富氧状态，而500℃时生长的则处于缺氧状态。结合XRD谱、EXAFS谱、XPS谱和PL谱的结果可以看到：随着ZnO薄膜的结晶性变好，它的紫外发光增强；另一方面，随着ZnO薄膜中O的含量减少，绿光发射变强。我们的结果表明绿光发射与ZnO中氧空位（V0）有关。
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| 关 键 词： | 氧化锌 脉冲激光淀积 X射线光电子能谱 广延X射线吸收精细结构 光致发光 |
| 文章编号： | 1672-7126（2006）06-0446-05 |
| 收稿时间： | 2006-04-01 |
| 修稿时间： | 2006年4月1日 |
Microstructure and Photoluminescence Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition |
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| Sun Bai,Zou Chongwen,Liu Zhongliang,Xu Pengshou,Zhang Guobin,Wei Shiqiang.Microstructure and Photoluminescence Properties of ZnO Thin Films Prepared by Pulsed Laser Deposition[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2006,26(6):446-450. |
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| Authors: | Sun Bai Zou Chongwen Liu Zhongliang Xu Pengshou Zhang Guobin Wei Shiqiang |
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| Affiliation: | National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230029, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Zinc Oxide Pulsed Laser Deposition X-ray photoelectron spectroscopy Extended x-ray absorption fine structure Photoluminescence(PL) |
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